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甲烷针-板放电等离子体流体模型的数值研究

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【作者】 王瑞雪张帅邵涛王超潘杰

【机构】 中国科学院电工研究所山东师范大学

【摘要】 以离子与电子的漂移扩散以及麦克斯韦方程为基础,推导得到了针-板放电的流体模型。本文流体模型仿真甲烷等离子体包括20种粒子(中性粒子、自由基、离子和电子)需要求解粒子守恒方程和电子能量平衡方程,通过求解泊松方程获得自洽的电场。该模型总共考虑27个电子碰撞反应、7个离子-中性粒子反应和12个中性粒子的反应,通过该仿真结果可以看出电子密度的发展受电场影响十分显著,甲烷等离子体中占主导的自由基是甲基和氢自由基。仿真结果与实验结果吻合。

【关键词】 流体模型针-板放电甲烷转化自由基
【基金】 国家自然科学基金中英人才基金(51561130156);青年基金(51507169);英国皇家学会牛顿高级学者基金(NA140303)资助项目
  • 【会议录名称】 第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集
  • 【会议名称】第十八届全国等离子体科学技术会议
  • 【会议时间】2017-07-26
  • 【会议地点】中国陕西西安
  • 【分类号】O53
  • 【主办单位】中国力学学会等离子体科学技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核学会聚变与等离子体物理学会、中国物理学会高能量密度物理专业委员会
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