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超薄复合金刚石膜的研制
【作者】 丁明清； 李莉莉； 胡健楠； 杜英华； 蔡军； 胡银富； 冯进军；
【机构】 北京真空电子技术研究所微波电真空器件技术国家重点实验室；
【摘要】 太赫兹行波管用微米金刚石输能窗片的厚度接近100μm甚至几十μm,带来了机械强度与气密性问题。我们设计并研制了一种100μm厚的超纳米和微米复合金刚石膜。测试结果表明,断裂强度和气密性明显优于微米金刚石膜。利用复合膜制成的两个180GHz输能窗的测试表明,在175-185GHz频率范围内,传输损耗分别为1.22 d B和1.71 d B,电压驻波比(VSWR)都小于或等于1.45。这种复合膜的研制提供了一种制备高机械强度、超薄的金刚石膜的方法,同时为提高太赫兹行波管用输能窗的传输性能和可靠性奠定基础。
【基金】 973项目(2013CB933602);微波大功率国家实验室的资助
- 【会议录名称】 2016真空电子学分会第二十届学术年会论文集（下）
- 【会议名称】2016真空电子学分会第二十届学术年会
- 【会议时间】2016-08-23
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】TN124
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会、微波电真空器件国家级重点实验室