有序硅纳米线阵列的构筑与表征

【作者】 侯国智； 吴仰晴； 宋虎成； 邵文仪； 吴小祥； 徐骏； 陈坤基；

【机构】 南京大学电子科学与工程学院固体微结构物理国家重点实验室；

【摘要】 <正>硅基纳米线阵列结构在包括如光催化、场效应晶体管、生化传感器、表面自清洁材料等新型器件方面有着重要的前景。例如,硅纳米线结构,尤其是垂直有序排列的硅纳米线阵列结构,可以显著增强光的收集能力,有效地增加光吸收,进而提高光伏器件的光转换效率。自我们先前的研究工作中,我们利用金属辅助刻蚀技术得到了具有不同刻蚀深度的纳米线阵列,研究了相关结构的光学减反性能,并将其应用在硅量子点太更多还原