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高晶面趋向性Al掺杂ZnO薄膜的制备及红外光学性能的研究
【作者】 封宾； 何大伟； 富鸣； 杜玙璠； 鞠长滨； 王永生；
【机构】 北京交通大学光电子技术研究所； 发光与信息技术教育部重点实验室；
【摘要】 本文通过凝胶-溶胶法,在石英基片上浸涂经热处理制备出不同厚度及不同退火温度的ZAO薄膜,利用XRD等手段对薄膜进行表征,并对薄膜在可见波段(380-750nm)及红外波段(3-5μm和8-14μm)的光学
- 【会议录名称】 第十五届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
- 【会议名称】第十五届全国高技术陶瓷学术年会
- 【会议时间】2008-09-21
- 【会议地点】中国辽宁沈阳
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会