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蓝宝石衬底上溶胶凝胶法制备MgAl2O4薄膜研究

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【作者】 张明福； 刘嘉； 张海亮； 韩杰才； 汪桂根；

【机构】 哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所；

【摘要】 本文旨在对扩散源Mg-Al spinel薄膜的制备工艺、组织结构与薄膜的红外透过性质进行研究。对溶胶凝胶法制备Mg O薄膜进行XRD、XPS和SEM分析,结果表明800℃以下热处理后,制备的Mg O薄膜仍为非

  • 【会议录名称】 第十五届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
  • 【会议名称】第十五届全国高技术陶瓷学术年会
  • 【会议时间】2008-09-21
  • 【会议地点】中国辽宁沈阳
  • 【分类号】TQ132.2;TB383.2
  • 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会
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