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二氧化铪（HfO2）薄膜的自组装制备

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【作者】 贺中亮； 苗鸿雁； 谈国强； 刘剑；

【机构】 陕西科技大学材料科学与工程学院；

【摘要】 以Hf（SO4）2·4H2O和HCl配制Hf O2前驱液,利用自组装单层膜技术,在玻璃基底表面生长OTS有机硅烷单分子层,经过紫外光对有机层表面功能化处理。在自组装单层膜的功能性基团对前驱液诱导作用下,

  • 【会议录名称】 第十五届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
  • 【会议名称】第十五届全国高技术陶瓷学术年会
  • 【会议时间】2008-09-21
  • 【会议地点】中国辽宁沈阳
  • 【分类号】TQ134.13;TB383.2
  • 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会
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