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硼碳氮薄膜的制备与表怔
【机构】 四川大学物理系和辐射物理与技术教育部重点实验室；
【摘要】 本文将探讨用电子束蒸发的方法在单晶硅(100)基片上制备了硼碳氮薄膜,通过椭圆偏振仪,X衍射光谱,傅立叶红外光谱.测试分析了厚度均匀性与成分结构.分析表明,薄膜光滑致密,均匀性较好,衬底温
- 【会议录名称】 第十五届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
- 【会议名称】第十五届全国高技术陶瓷学术年会
- 【会议时间】2008-09-21
- 【会议地点】中国辽宁沈阳
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会