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放电等离子烧结法制备ITO靶材
【机构】 武汉理工大学材料复合新技术国家重实验室；
【摘要】 本文用一次粒径小于20nm的ITO复合粉末经放电等离子烧结法(SPS)制备了ITO磁控溅射靶材。实验研究了SPS的主要工艺参数对ITO靶材致密化及电阻率的影响。实验结果表明:靶材的相对密度随着烧
- 【会议录名称】 第十五届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
- 【会议名称】第十五届全国高技术陶瓷学术年会
- 【会议时间】2008-09-21
- 【会议地点】中国辽宁沈阳
- 【分类号】TB383.3
- 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会