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液相燃烧合成堇青石工艺及机理研究
【机构】 清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室；
【摘要】 堇青石是常用在电子行业中重要的具有低介电系数、低烧结温度的材料。现常用熔融玻璃法、固相烧结法和溶胶凝胶法制备。本文提出并研究了液相燃烧合成堇青石工艺及机理。对低温液相燃烧合成堇青石的反应过程及步骤进行了摸索;对反应过程中放热及自然烧的反应机理进行了初步的研究,提出了整个反应的化学方程式。对产物进行相组成和微观结构的分析,发现了反应不同步骤中的产物、比例,以及分解温度,由此计算提出了优化的烧结工艺和过程,并在实验中获得了介电系数小于6(1MHz),损耗低于0.005的低介电系数堇青石材料。在实验中发现酒精的燃烧是液相燃烧合成的初始热量来源;而后氨基的液相燃烧合成是后续反应热量的主要来源。
- 【会议录名称】 第十三届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
- 【会议名称】第十三届全国高技术陶瓷学术年会
- 【会议时间】2004-10-14
- 【会议地点】中国辽宁大连
- 【分类号】TQ170.1
- 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会