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用于微光机械加速度计的耦合器设计

Design of coupler used for MOEMS acceleration

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【作者】 李东王金海田磊尉春华

【Author】 LI Dong;WANG Jin-hai;TIAN Lei;WEI Chun-hua;School of Electronics and Information Engineering,Tianjin Polytechnic University;

【机构】 天津工业大学电子与信息工程学院

【摘要】 在微光电子机械系统(Micro-Optic-Electro-Mechanical System,MOEMS)理论的基础上,设计了应用于光波导加速度系统的双Y分支1×4耦合器。对微光机械系统做了简要介绍,对所设计的系统耦合器进行了理论研究和计算,并对系统进行了结构优化,采用S型反正弦波导连接两平行直波导的弯曲波导。设计的耦合器长度为20.4 mm,具有结构紧凑、损耗低、不易受外部温度影响等特点。

【Abstract】 Based on the principle of MUEMS,double Y-branch waveguide 1×4 couplers used lor optical waveguide accelerometer system were designed.The MOEMS was introduced briefly.Through theoretical research,calculation of the couplers and the use of arcsine type,the length of 1×4 couplers were found only 20.4 mm.So there are many unique properties using double Y-branch waveguide couplers in this system,such as compact size,low loss and guarded against the impact of the outside temperature.

【关键词】 微光机械系统耦合器光波导加速度计
【Key words】 MOEMScoupleroptical waveguideaccelerometer
  • 【会议录名称】 2015中国(天津)机电装备创新设计与产业发展高峰论坛论文集
  • 【会议名称】2015中国(天津)机电装备创新设计与产业发展高峰论坛
  • 【会议时间】2015-11-01
  • 【会议地点】中国天津
  • 【分类号】TH824.4
  • 【主办单位】天津市科学技术协会
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