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轴锥镜锥角检测方法研究
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所； 中国科学院大学；
【摘要】 <正>1.引言轴锥镜是一种旋转对称角锥形光学元件,由于它长的焦深以及窄的横向宽度,被广泛应用于成像光学系统、激光束整形等方面。在投影光刻机中,轴锥镜可以将传统照明模式转换成环形照明模式,是其照明系统的核心元器件之一,加工过程中需要精确地检测其锥角大小。本文提出了一种利用自准直电子经纬仪检测轴锥镜锥角大小的方法,此方法操作简单、可检测任意锥角,且可以给出锥角大小的分布。
- 【会议录名称】 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 【会议名称】第十六届全国光学测试学术交流会
- 【会议时间】2016-09-25
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】TH74
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会