节点文献
基于表面等离子体共振效应的金属薄膜参数测量技术
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所； 中国科学院大学；
【摘要】 <正>1.引言金属薄膜作为常用的薄膜材料,在光学,半导体等领域有着十分广泛的应用,因而精确测定其参数有着重要意义。椭偏技术作为一种常用的薄膜参数测量技术,虽然有着非破坏性,非接触性,测量精度高等优点,但是其后期数据处理过程繁琐复杂,不能实现快速测量。为实现对金属薄膜参数的快速测量,本文研究了一种基于表面等离子体共振效应(SPR)的金属薄膜参数测量技术。
- 【会议录名称】 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 【会议名称】第十六届全国光学测试学术交流会
- 【会议时间】2016-09-25
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会