真空镀膜技术的进展

【作者】 王福贞；

【机构】 北京联合大学；

【摘要】 <正>随着高新技术的发展和人们生活水平提高的需求,各种具有特殊性能的薄膜材料层出不穷。真空镀膜技术是制备这些薄膜材料、生产高精尖薄膜产品的的关键技术。其中的离子镀膜技术近些年来得到了飞速发展,使我国生产出了众多的,性能优异的薄膜产品。国家的发展需要我们薄膜工作者继续努力,为我国的薄膜事业做出更多贡献。真空镀膜产品,尤其是在各种气体放电中进行镀膜的离子镀膜产品涉及太阳能发电、太阳能热水器、节能玻璃、节能光源、半导体芯片、磁盘、光盘、光学器件、敏感元件、防伪材料、电视机、电脑、手更多还原