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免擦水的PVD环保碳氢清洗剂与工艺
【机构】 东莞市新球清洗科技有限公司; 暨南大学化学系;
【摘要】 采用专利号为201010128398.9一种改性碳氢清洗剂(简称洗蜡王)与专利号为201110301853.0一种改性碳氢清洗剂真空清洗除油除蜡工艺对PVD工件进行清洗,取得了显著的清洗效果以及良好的经济和环境效益,是一种环境友好的创新性清洗技术。本文介绍了改性碳氢清洗剂与清洗工艺的设备、流程及优点。
- 【会议录名称】 2012年广东省真空学会学术年会论文集
- 【会议名称】2012年广东省真空学会学术年会
- 【会议时间】2012-12-01
- 【会议地点】中国广东肇庆
- 【分类号】TQ649
- 【主办单位】广东省真空学会(Guangdong Vacuum Society)