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浅谈薄膜制备工艺的等离体化进程
【机构】 北京科技大学材料学院； 北京镨玛时代科技有限公司； 广州有色金属研究院；
【摘要】 <正>真空镀膜已经走过了近一个世纪的历程,随着薄膜材料的应用普及,对其性能提出了的越来越高的要求,薄膜制备工艺随之速度发展,其中一个主要特征便是薄膜制备过程的离子化或称为等离体化的过程。众所周知,真空镀膜是指在真空条件下,将所需材料以不同形式的物质转化为原子,离子或团等,然后在工件或样品表面沉积为二维薄膜的过程。获得与内部体材料具备不同
- 【会议录名称】 广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会论文集
- 【会议名称】广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会
- 【会议时间】2010-12-01
- 【会议地点】中国广东深圳
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】广东省真空学会（Guangdong Vaccum Society）