外延膜与衬底晶格匹配关系X射线衍射分析

【作者】 石磊； 周贵恩； 张裕恒； 贾云波； 黄允兰； 李晓光；

【机构】 中国科学技术大学结构成分分析中心；

【摘要】 <正>现代电子器件是以薄膜为基础的,特别是集成的电子器件更是如此。研究膜与衬底间的晶格匹配关系是理解膜的物理性质,改进制膜工艺的一个基础工作。过去人们主要采用离子沟道(ion channeling)和透射电子显微镜(TEM)等方法进行这方面的研究。然而,这些方法对样品有特殊处理要求,不仅有破坏更多还原