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薄膜材料的极紫外辐照损伤实验
【作者】 李文斌； 王新； 原晓峰； 徐海钊； 穆宝忠； 王占山；
【机构】 先进微结构材料教育部重点实验室同济大学精密光学工程技术研究所同济大学物理学院；
【摘要】 <正>高强度短脉冲极紫外、X射线波段激光与材料辐照损伤研究对于X射线光学元件设计、极紫外光刻发展、新型探测器研制和等离子体诊断等有着重要的参考价值。随着新型短波长光源的发展,如极紫外、X射线波段自由电子激光和激光等离子体光源等,薄膜材料在极紫外、X射线波段的辐照损伤问题日益成为国际研究热点之一[1]。
- 【会议录名称】 上海市激光学会2015年学术年会论文集
- 【会议名称】上海市激光学会2015年学术年会
- 【会议时间】2015-12-16
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】上海市激光学会