复杂光学元件小磨头抛光盘运动分析

【作者】 万嵩林； 张祥朝； 何晓颖； 徐敏；

【机构】 复旦大学上海超精密光学制造技术工程中心；

【摘要】 <正>随着光学技术的发展,新一代的光学系统中所使用的光学元件的口径越来越大,精度也越来越高,这对光学加工技术提出了更高要求。而国内外广泛采用的计算机表面成型技术(Computer Controlled Optical Surfacing,CCOS)有着速度快,精度高,智能化的特点而被深入研究。通过控制磨头运动速度大小来控制每个区域的驻留时间,在这过程中不可避免的会出现速率的变化以及运动方向的改变,而这类突变都会对光学表面产生不良的影响。本文目的更多还原