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TiO2:（Y,Er）薄膜发光器件的电致发光:Y共掺增强Er3+离子发光
【机构】 浙江大学硅材料国家重点实验室；
【摘要】 利用射频溅射法在高温热氧化的N型硅衬底上沉积Y和Er共掺的TiO2（TiO2:Y,Er）薄膜,并制备了ITO/TiO2:（Y,Er）/SiO2/Si结构的发光器件。与TiO2:Er薄膜发光器件相比,共掺Y的器件在可见光区与红外光区的由碰撞离化机制主导的与Er3+相关的电致发光均得到显著增强。研究发现,通过Y的共掺,可以促使TiO2基体由单一的锐钛矿相转变为以金红石相为主,并且TiO2:Er薄膜中空隙也会减少。分析认为由于以金红石相为主的TiO2:（Y,Er）薄膜具有更大的电子亲和能以及更好的薄膜质量,从而使得Er3+的碰撞离化能够更有效地在TiO2:（Y,Er）薄膜中进行。
- 【会议录名称】 第十一届全国硅基光电子材料及器件研讨会论文摘要集
- 【会议名称】第十一届全国硅基光电子材料及器件研讨会
- 【会议时间】2016-06-16
- 【会议地点】中国江苏南京
- 【分类号】TN304
- 【主办单位】南京大学电子科学与工程学院、南京大学固体微结构物理国家重点实验室、浙江大学硅材料国家重点实验室