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纳米硅/二氧化硅多层膜的掺杂行为与发光特性研究
【作者】 李东珂; 陆鹏; 钱明庆; 徐骏; 李伟; 陈坤基;
【机构】 南京大学电子科学与工程学院固体微结构物理国家重点实验室;
【摘要】 <正>获得高效率的硅基光源一直是制约硅基光电集成器件发展的技术瓶颈与难点。为攻破这一难点,人们进行了多方面、多领域的探索,其中受量子限制效应调制的纳米硅发光材料是现阶段探索和研究的热点之一。近期研究发现,掺杂是调控纳米硅发光波长的有力手段。然而纳米硅的"自清洁效应"是实现对纳米硅掺杂的难题所在,对于杂质原子能否有效地掺入到纳米硅内和杂质的分布一直存
- 【会议录名称】 第十一届全国硅基光电子材料及器件研讨会论文摘要集
- 【会议名称】第十一届全国硅基光电子材料及器件研讨会
- 【会议时间】2016-06-16
- 【会议地点】中国江苏南京
- 【分类号】TN304
- 【主办单位】南京大学电子科学与工程学院、南京大学固体微结构物理国家重点实验室、浙江大学硅材料国家重点实验室