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等离子体与微纳材料
【机构】 苏州大学物理与光电.能源学部； 苏州大学等离子体技术研究中心； 苏州大学分析与测试中心；
【摘要】 随着科学技术发展的突飞猛进,许多先进的方法和技术,特别是以等离子体技术为代表的先进技术被广泛应用,使得微纳材料领域许多内在的本质规律不断被揭示出来,认识的层次也从微米尺度,深入到纳米,以及分子和原子的尺度。高速发展的微电子科学、环境科学、能源与材料科学等,为等离子体科学发展带来了新的机遇和挑战,并获得企业界高度关注。微纳材料合成的等离子体技术包括等离子体薄膜制备、刻蚀、微纳加工等,其需要解决的关键问题包括:1)增强等离子体的可控性;2)增强微纳材料形成和质量的可控性。例如微纳薄膜材料形成中杂质浓度、缺陷、结晶性能及物理性质的控制及调制。
【基金】 国家自然科学基金项目(11435009 11175126 11075114 11375126 11204266);国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(2014GB106005);江苏省高校自然科学研究重点项目(13KJA140001)
- 【会议录名称】 第二届海峡两岸功能材料科技与产业峰会（2015）摘要集
- 【会议名称】第二届海峡两岸功能材料科技与产业峰会（2015）
- 【会议时间】2015-08-21
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】TB383.1
- 【主办单位】国家仪表功能材料工程技术研究中心、厦门大学、台湾材料科学学会