溶胶凝胶合成Zn1-xCdxO薄膜结构特性和光学性能研究

【作者】 黄波； 刘超； 赵修建；

【机构】 硅酸盐建筑材料国家重点实验室武汉理工大学；

【摘要】 本文采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃基底上制备镉掺杂氧化锌(Zn_1-xCd_xO)薄膜,研究镉掺入量（x=0,0.1,O.2,…1）和不同预处理温度对薄膜结构及其光学性能的影响。XRD结果表明,当150℃预处理时,当x<0.3时Zn_1-xCd_xO薄膜以六角纤锌矿结构为主,呈现ZnO（100）、（002）、（101）特征峰;当x≥0.3时Zn_1-xCd_xO薄膜以立方晶相为主,CdO（111）、（200）出现,且随着浓度提高衍射峰强逐渐增强。当预处理温度大于150℃,x<0.3时,呈现氧化锌沿（002）晶面定向生长,衍射峰位向小角度偏移;x≥0.3时CdO岩盐矿结构衍射峰（111）（200）开始逐渐增强,峰位向大角度偏移。紫外可见透过光谱测试表明Zn_1-xCdxO薄膜在可见光范围内透过率高于80%;随着x增大,薄膜透过率略有减小。随着x增大,Zn_1-xCd_xO薄膜的禁带宽度逐渐由3.3 eV（x=0）减小至2.2 eV（x=1）。更多还原