原子层沉积的阳极氧化铝封孔抗腐蚀应用研究

【作者】 贾毅； 杨忙； 卢维尔； 计峰； 李超波； 方攸同； 夏洋；

【机构】 浙江大学电气工程学院； 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心； 山东大学物理学院； 中国科学院微电子所；

【摘要】 本文以Al₂O₃和TiO₂为基础材料,对比了原子层沉积单一材料层和Al₂O₃/TiO₂叠层等不同工艺条件下镀膜对阳极氧化铝衬底的封孔效果和抗腐蚀性能影响。SEM及染色实验表明原子层沉积工艺能够有效的进行阳极氧化铝材料的孔填充,并最终实现封孔。镀膜厚度和工艺温度是镀膜抗腐蚀性能的重要影响因素。酸性点滴和盐雾实验表明,薄膜的阻隔效果明显,随着镀膜厚度的增加,抗腐蚀性能提高,相同厚度的TiO₂材料防腐性能优于Al₂O₃。Al₂O₃/TiO₂的叠层镀膜凭借两种材料的互补作用,具备了更好的抗腐蚀性能。更多还原