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硅桥红外辐射单元热传导特性的显微拉曼研究
【机构】 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家实验室；
【摘要】 <正>本文采用显微Raman光谱的方法对红外目标模拟器中重掺杂Si电阻微桥单元的热传导特性进行研究。根据Si桥的实际特性建立相应的Raman散射模型,通过测量Raman峰位的移动得到高功率激光辐照下测量点的温度。对Si桥桥面分别进行了沿某些特殊线段的逐点线扫描和覆盖全部桥面的面扫描,得到各点的温升及其分布。用基于有限元分析的ANSYS软件结合Si桥结构参数对各测量点的温升进行了模拟计算,其结果在热导分布的基本趋势上与实验相一致。而实验则细致地揭示了热导分布的局域起
- 【会议录名称】 第十二届全国光散射学术会议论文摘要集
- 【会议名称】第十二届全国光散射学术会议
- 【会议时间】2003-10-26
- 【会议地点】中国辽宁大连
- 【分类号】O433
- 【主办单位】中国物理学会光散射专业委员会