非线性有机物和聚合物在波导光互连中的应用研究

【作者】 祖继锋； 余宽豪； 陈学良； 耿完桢； 洪晶；

【机构】 哈尔滨工业大学应用物理系； 上海冶金所微电子分部一室；

【摘要】 <正> 硅基底波导光互连技术具有可以充分利用成熟的半导体工艺,与VLSI电子器件工艺相容好等特点,引起了人们极大的研究兴趣。近几年飞速发展的非线性有机物和聚合物因它们同无机材料相比具有潜在优越的光学和结构特性,用于波导光互连更显示出良好的发展前景。首先它们用于开关结构的设计,为波导光互连器件的动态控制提供了又一可能性,它涉及新工艺和理论两方面研究。其次有些有机物和聚合物的电光系数与铌酸锂的相当,有的甚至高出许多,它们在连续沉积薄膜时,其电光效应无明显的改变,制作的电光调制更多还原