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新型激光光学表面轮廓仪
【作者】 徐文东；
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所；
【摘要】 <正> 在光学表面粗糙度测量中,激光光学表面轮廓仪以其非接触测量,无需对作品表面进行镀膜处理,不受光学表面高度分布的限制,且高速和高精度,因而受到国内外光学测试专家的重视。各种类型和性能的激光光学表面轮廓仪的出现,标志着这一领域内所取得的成就。本文将介绍的是一种新型激光光学表面轮廓仪,它吸收了近几年来国内外对各种粗糙度测试仪研究的成果,应用多项技术和特殊设计使仪器可在普通的环境下正常运行,结构更简
- 【会议录名称】 第五届全国基础光学学术报告会和交叉科学中的光学问题讨论会论文集
- 【会议名称】第五届全国基础光学学术报告会和交叉科学中的光学问题讨论会
- 【会议时间】1991-09-27
- 【会议地点】中国甘肃兰州
- 【分类号】TH744.5
- 【主办单位】中国光学学会基础光学专业委员会