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一种应用微机的光栅莫尔条纹细分方法

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【作者】 吕晓明； 杨革；

【机构】 哈尔滨工业大学； 哈尔滨第一工具厂；

【摘要】 <正> 计量光栅传感器以其精度高、量程大而广泛地应用于位移、角度、长度等测量系统中。高精度的计量和检测,通常要求长度精确到1～0.1μm,角度精确到1″～0.1″。如果以光栅的栅距或栅角作计量单位,则要

  • 【会议录名称】 第四届全国光电技术与系统学术会议论文集
  • 【会议名称】第四届全国光电技术与系统学术会议
  • 【会议时间】1991-05-13
  • 【会议地点】中国安徽合肥
  • 【分类号】TP212.44
  • 【主办单位】中国科技大学、安徽省光学学会
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