调幅W(Mo)/Cu纳米多层膜结构He+注入响应行为初探

【作者】 刘波； 植超虎； 张彦坡； 任丁； 林黎蔚；

【机构】 辐射物理及技术教育部重点实验室,四川大学原子核科学技术研究所；

【摘要】 用磁控溅射技术制备不同调幅波长(L)的W(Mo)/Cu纳米多层膜,所制膜系在60 keV氦离子(He+)辐照条件下注入不同剂量:0、1×1017 He+/cm2、5×1017He+/cm2。用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征W(Mo)/Cu纳米多层膜辐照前后微观结构。研究结果表明:(1)He+离子轰击引起温升效应是导致沉积态亚稳相β-W转变成稳态α-W相的主因,而与调幅波长无明确关联;(2)纳米多层结构中W(Mo)和Cu膜显现出的辐照耐受性与调幅波长相关,调幅波长越小,抗He+的辐照性能越强;(3)不同注入剂量条件下,W(Mo)/Cu表面形貌会发生明显的改变:出现了溅射蚀坑、孔洞、鼓泡甚至表面层的剥落等现象,这些形貌不仅与He+注入时的剂量、温度等诸因素有关,而且与调幅波长存在明确关联。更多还原