SRIM模拟W(Mo)/Cu纳米复合薄膜He+离子辐照损伤

【作者】 林黎蔚； 李佳峻； 刘波； 任丁；

【机构】 辐射物理及技术教育部重点实验室,四川大学原子核科学技术研究所；

【摘要】 用磁控溅射技术制备不同调幅波长（L）的W（Mo）/Cu纳米多层膜,所制膜系在60 KeV氦离子（He⁺）辐照条件下注入不同剂量:0、1×10¹⁷He⁺/cm²、5×10¹⁷He⁺/cm²。利用SRIM软件模拟上述不同调幅结构的W（Mo）/Cu纳米多层膜的He+离子辐照损伤动态过程,获取He⁺离子浓度,能量转移消耗,辐照损伤（DPA）等随样品深度变化的分布曲线及其与调幅波长（界面百分比）的相关性。模拟结果表明:（1）W（Mo）/Cu纳米多层膜调幅波长越小,膜界与晶界所占比表体积百分数越大,对He⁺离子沉陷作用越为显著;（2）当总厚度不变的情况下,模拟结果表明He⁺离子穿过调幅波长越小的膜系界面的消耗的总能量越多;（3）相同注入剂量条件下,W（Mo）层与Cu层对He⁺离子的响应行为存在显著差异,与实验结果吻合。更多还原