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基于光杠杆原理测量压电陶瓷压电特性的方法
Testing method of dilation of the piezoelectric ceramics based on optical lever theory
【Author】 PAN Zai-you, LIU Hui-lan, FENG Li-shuang, XING Ji-wu (School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering, Beihang University, Beijing 100083, China)
【机构】 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院;
【摘要】 提出了一种基于光杠杆原理测量压电陶瓷伸长量,对压电陶瓷压电特性进行检测验证的方法。该方法不需要专门的测量仪器,采用常用的材料搭建简便的光路,运用光杠杆原理通过对反射光斑位移的测量,测得不同的电压驱动时压电陶瓷相应的伸长量。文中介绍了光路的搭建,并且对相应的实验数据进行处理和分析。结果显示,在外加电压为0~60V之间,所取的6个点所测的压电陶瓷的伸长量与厂家给出相应参数基本相符,满足实验室对压电陶瓷压电特性测定的要求。
【Abstract】 A testing method based on optical lever theory for the measurement of the piezoelectric property of the piezoelectric ceramics (PZT) is presented. The method uses ordinary materials and apparatus to form light path. It can measure the micro dilation of the PZT by measuring the displacement of the reflected light spot. The light path is built and the experimental data are analyzed. The results of the PZT dilation accorded with the factory parameters. The method is simple and convenient and satisfies the requirement of the measurement of the piezoelectric property of PZT.
【Key words】 Optical lever theory; Piezoelectric ceramics(PZT); Piezoelectric property;
- 【会议录名称】 高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集
- 【会议名称】高精度几何量光电测量与校准技术研讨会
- 【会议时间】2008-05
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】TM282
- 【主办单位】中国宇航学会光电技术专业委员会