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利用飞行时间质谱研究阴极蒸发
【作者】 刘燕文； 田宏； 韩勇； 赵青兰； 徐振英； 孟鸣凤； 张哓伟； 王晓艳； 张洪来；
【机构】 中国科学院电子学研究所；
【摘要】 提出了采用飞行时间质谱(TOFMS)分析阴极蒸发的成分和速率的新方法。利用 ToFMS 测试了真空本底,氧化物阴极,浸渍阴极、覆膜阴极等各种阴极蒸发物的成分。研究了阴极蒸发速率与阴极温度和加热时间的关系。比较了不同阴极蒸发速率的大小。研究了阴极各种成分离子峰强度与电离电压的关系。
- 【会议录名称】 第九届真空技术应用学术年会论文集
- 【会议名称】第九届真空技术应用学术年会
- 【会议时间】2006-09
- 【会议地点】中国四川绵阳
- 【分类号】TN12
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会