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覆膜阴极蒸发成分的分析
【作者】 田宏； 刘燕文； 徐振英； 孟鸣凤； 张洪来； 俞世吉； 王自成；
【机构】 中国科学院电子学研究所；
【摘要】 本文利用飞行时间质谱对用于相位一致性覆膜阴极在不同温度,不同时间条件下的蒸发成分进行了测试,并对这些蒸发物的来源进行了分析。这些结果为研制蒸发速率小的覆膜阴极指明方向。
- 【会议录名称】 第九届真空技术应用学术年会论文集
- 【会议名称】第九届真空技术应用学术年会
- 【会议时间】2006-09
- 【会议地点】中国四川绵阳
- 【分类号】TN103
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会