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用于真空微波器件的热阴极曲率半径测试研究

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【作者】 刘燕文田宏张明晨李玉涛邹涛刘胜英董芳张洪来

【机构】 中国科学院电子学研究所

【摘要】 阴极曲率半径的测试方法及曲率半径误差的产生原因进行了分析,然后利用NikonMM-40型测量显微镜对阴极的弧度进行了测试,并对显微镜的测量误差进行了分析,最后,给出了精确测量阴极弧度的方法。

【关键词】 曲率半径误差方差
  • 【会议录名称】 第八届真空技术应用学术年会论文集
  • 【会议名称】第八届真空技术应用学术年会
  • 【会议时间】2005-04
  • 【会议地点】中国厦门
  • 【分类号】TN121
  • 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会
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