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场致发射阵列(FEA)阴极及应用研究概况
【作者】 俞世吉；
【机构】 中国科学院电子学研究所；
【摘要】 场致发射阵列(FEA)阴极是真空微电子器件的关键技术之一。本文综述了目前FEA 阴极的制备与应用研究的概况。
【关键词】 场致发射阵列阴极；
场致发射平面显示器件；
微波功率放大器件；
- 【会议录名称】 中国电子学会真空电子学分会第十三届学术年会论文集（下）
- 【会议名称】中国电子学会真空电子学分会第十三届学术年会
- 【会议时间】2001-08
- 【会议地点】中国贵州贵阳
- 【分类号】TN103
- 【主办单位】中国电子学会真空电子学分会、中国振华（集团）科技股份有限公司宇光分公司、北京真空电子技术研究所