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基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统
【机构】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室；
【摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。
- 【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集
- 【会议名称】浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛
- 【会议时间】2005-11
- 【会议地点】中国浙江金华
- 【分类号】TP274.4
- 【主办单位】浙江省科学技术协会、浙江省光学学会