节点文献

浅析靶材分子在玻璃表面的沉积

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 郭明； 王秀丽；

【机构】 洛玻集团洛阳晶润镀膜玻璃有限公司；

【摘要】 通过试验数据和理论分析,详细论述了平面靶是如何将靶材粒子沉积到玻璃表面,形成均匀的膜层及其价值。

  • 【会议录名称】 TFC’07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
  • 【会议名称】TFC’07全国薄膜技术学术研讨会
  • 【会议时间】2007-08
  • 【会议地点】中国甘肃兰州
  • 【分类号】TB304
  • 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、中国航天科技集团公司五一○研究所、表面工程技术国家级重点实验室
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)