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复合氧化物薄膜的金属有机物化学相沉积技术
【机构】 西安工业大学,光电微系统研究所；
【摘要】 <正>复合氧化物是获得广泛应用的薄膜材料体系,典型的应用包括光学、电子学、磁学等多种领域,如复合氧化物铁电薄膜、超导薄膜、巨磁阻薄膜、透明导电薄膜等。这些薄膜材料的共同特点是包含较为复杂的化学成分以及微观结构。针对复合氧化物薄膜的制备提出了许多有效的手段,包括磁控溅射、金属有机物化学汽相沉积、溶胶凝胶等方法,其中金属有机物化学汽相沉积(MOCVD)方法具有设备成本适中、对薄膜微观结构控制好、沉积效率较高等优点而获得广泛
- 【会议录名称】 TFC’07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’07全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2007-08
- 【会议地点】中国甘肃兰州
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、中国航天科技集团公司五一○研究所、表面工程技术国家级重点实验室