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低温沉积ZnO多层膜的结构与压敏性质
【机构】 华东理工大学物理系；
【摘要】 <正>ZnO压敏电阻以其优良的过压保护及高能浪涌吸收特性,在电压敏感元件的研制及众多应用领域中占据主导地位。随着大规模和超大规模集成电路的发展,对高非线性特性、低压敏电压的小功率压敏电阻器的需求不断提高。采用薄膜技术制备的ZnO薄膜压敏电阻,其厚度可在几十纳米到几微米之间调节,在制备小功率低压压敏电阻方面具有很好的潜力和优势。薄膜型压敏电阻的研究对
- 【会议录名称】 中国真空学会2006年学术会议论文摘要集
- 【会议名称】中国真空学会2006年学术会议
- 【会议时间】2006-10
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国真空学会