【作者】 干蜀毅； 徐向东； 洪义麟； 刘颍； 谢永军； 付绍军；

【Author】 Gan Shuyi Xu Xiangdong Hong Yilin Liu Yin Xie Yongjun Fu Shaojun (National Synchrotron Radiation Laboratory, USTC, Hefei, 230029, China; Dept. of Mechanical and Automobile Engineering, Hefei University of Technology, 230009, China)

【机构】 中国科技大学国家同步辐射实验室；

【摘要】 现代科技的发展对增反膜提出的要求越来越高,具体表现在两个方面:一是要求在现有基础上进一步提高反射率,拓宽高反膜带宽,二是将获得高反膜的波长向短波方向延伸至真空紫外-x 射线。本文在回顾经典高反膜设计方法的基础上,总结了近年来出现的一些新的增反膜设计方法, 给出了各种方法的设计思路和一般步骤,尤以真空紫外-X射线反射膜设计为重点。对增反膜设计、制作过程中尚存的一些重大问题也进行了阐述。更多还原

【Abstract】 Based on the review of the design method for classical high reflection multilayers, this paper summarize several newly developed design methods for enhanced reflecting mirrors and the emphasis is put on those used for vacuum ultraviolet and X-ray. The paper also brings forward some problems existed in design and fabrication of high reflection mirrors which need great efforts to solve.更多还原