【作者】 魏海波； 孙清； 池世春； 张晶宇；

【Author】 WEI Hai-bo,SUN Qing,CHI Shi-chun, ZHANG Jing-yu (Shenyang New Northern Glass Co.,Ltd, Shengyang 110136, China;Higher Vocational Technology Collage Shenyang Pharmaceutical University,Shenyang 110026,China;Shenyang institute of automation Chinese academy of sciences equipment research and design center,shenyang 110016,china;Shenyang Vacuum Technology Institute,Shenyang 110024, China)

【机构】 沈阳新北方玻璃有限公司； 沈阳药科大学高等职业技术学院； 中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心； 沈阳真空技术研究所；

【摘要】 本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜。更多还原

【Abstract】 This file describes the structure and characteristics of sponge coiling vacuum magnetron sputtering coating equipment, which uses special gearing machine to realize sponge coating vacuum magnetron sputtering coating.更多还原