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利用TRIDYN计算氮离子在金极表面的浓度深度分布及其应用
【机构】 南通大学理学院；
【摘要】 <正>20多年来,为合成氮化金,Anttila、Sanghera、Battacharyya和清华大学李恒德和柳百新组, 分别用2-80KeV的N离子注入金膜,希望合成氮化金,但都未能如愿。直到2002年,以Siller为首的实验组才使用高分辨XPS首次直接证明了采用氮离子注入金的方法能够合成氮化金。近两年,他们在国际
- 【会议录名称】 中国真空学会2006年学术会议论文摘要集
- 【会议名称】中国真空学会2006年学术会议
- 【会议时间】2006-10
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】TG179
- 【主办单位】中国真空学会