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涡旋真空泵运行工况温度场的ANSYS模拟与研究

Simulation of Temperature Field Distribution and Time Evolution of Scroll Vacuum Pump with ANSYS

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【作者】 杨广衍张先锋赵元

【Author】 Yang Guangyan, Zhang Xianfeng and Zhao Yuan School of Mechanical Engineering and Automation, Northeastern University, Shenyang, 110004, China

【机构】 东北大学机械工程及自动化学院

【摘要】 在涡旋真空泵相关试验的基础上,通过大型有限元分析软件ANSYS对其工作过程的温度场进行了模拟分析。相关结果表明,软件分析基本上可以反映涡旋真空泵运行过程中温度场分布及变化情况,从而为其设计参数及相关因素的确定提供有效的分析手段。

【Abstract】 Temperature field distribution and time evolution of the scroll vacuum pump were simulated with large finite soft ware package-ANSYS based on a simplified physical model.The preliminary results can be of some technological interest in scroll vacuum pump design.

【关键词】 涡旋真空泵ANSYS温度场
【Key words】 Scroll vacuum pumpANSYSTemperature field
  • 【会议录名称】 全国薄膜技术学术研讨会论文集
  • 【会议名称】全国薄膜技术学术研讨会
  • 【会议时间】2006-09
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】TB752
  • 【主办单位】中国真空学会
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