脉冲偏压电弧离子镀CrA1N薄膜性能研究

【作者】 卢国英； 林国强； 赵彦辉； 董闯； 闻立时；

【机构】 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室；

【摘要】 <正> CrAIN薄膜具有良好的力学性能和高温抗氧化性能,日益受到人们的重视,但目前该薄膜的制备还存在着很多问题,如膜基结合力较低等。本文利用脉冲偏压电弧离子镀分离靶弧流调控技术在高速钢和不锈钢基体上制备了Cr₄₇Al₅₃N、Cr₄₀Al₆₀N、Cr₂₈Al₇₂N三种成分的薄膜,并对薄膜进行了高温抗氧化性能的测试,采用X射线衍射（XRD）对薄膜进行了相结构分析,用WS-92型涂层附着力划痕实验机测定了薄膜的膜基结合力,利用扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的组织形貌及氧化后的表面形貌进行了分析。结果表明:利用脉冲偏压电更多还原