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钛离子注入对DLC膜结构与性能的影响
【机构】 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室；
【摘要】 <正> 本文就钛离子注入对DLC膜的改性进行了系统地研究,针对注入能量和剂量对薄膜的结构和性能的影响进行了分析,为实现金属离子注入和气相沉积同步沉积技术奠定基础,研究结果表明: 1.钛离子注入可极大地改善DLC膜的表面性能、机械性能和摩擦学性能。但注入离子能量
- 【会议录名称】 TFC’05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’05全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2005-09
- 【会议地点】中国大连
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、大连理工大学三束材料改性国家重点实验室