CrN/zrN纳米多层膜的合成及其结构和机械性能的研究

【作者】 张晶晶； 王明霞； 杨瑾； 刘谦祥； 李德军；

【机构】 天津师范大学物理与电子信息学院；

【摘要】 <正> 在切削工具表面沉积保护膜可以明显提高其使用寿命和切削速度。近年来,过渡金属氮化物如CrN,ZrN,TiN已被广泛应用作保护涂层,而且CrN己被证实具有良好的的抗腐蚀和耐磨性,比TiN有更好的抗氧化性,与众多金属有更好的结合性。ZrN薄膜也具有良好的抗腐蚀性和机械性能而被广泛用于装饰材料,和耐磨涂层。然而,由于他们以柱状晶结构生长产生很强的脆性,在实际应用中极易造成薄膜的提前失效。本研究利用非平衡直流磁控溅射技术制备CrN/ZrN纳米多层薄膜,通过XRD,AES,XPS和纳米压痕仪具体分析了纳米多层薄膜合成中样品的转速,反应气体种类及流量对薄膜结构更多还原