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复杂型腔工模具表面脉冲直流PCVD制备硬质薄膜材料成套技术
【机构】 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室；
【摘要】 <正> 工模具在机械、电子、航空等行业应用量大面广,是基础工艺装备。我国每年消耗工模具1000亿元以上。但国产模具平均寿命仅为国外模具的1/3-1/10,我国每年仅因模具寿命过低造成的损失就超过100亿元。工模具表面气相沉积硬质薄膜材料可显著改善其服役性能,提高其使用寿命和加工效率,但在复杂型腔工模具、特别是模具内工作表面强化技术领域,国内外仍为探索阶段,尚未大面积应用。因此,开展复杂型腔工模具表面脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)强化成套设备及薄膜材料制备关键工艺技术研究,将有助于提升我国工模具制造
【基金】 国家自然科学基金项目50271053,50371067;国家自然科学基金委重大国际合作项目50420130033;863计划项目7150080060;国家科技攻关计划项目2004BA329C;教育部新世纪优秀人才支持计划项目NCET-04-0934
- 【会议录名称】 TFC’05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’05全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2005-09
- 【会议地点】中国大连
- 【分类号】TB383
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会、大连理工大学三束材料改性国家重点实验室