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玻璃毛细漏孔漏率的测量
【机构】 上海市计量测试技术研究院;
【摘要】 本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究。我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4Pa.m3/s~3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范围4×10-8mol/s-1×10-10mol/s(1×10-4Pa.m3/s~3×10-7Pa.m3/s),校准装置的总不确定度(不包括被检漏孔的不重复性)U=2%~5%(k=2)。
- 【会议录名称】 中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集
- 【会议名称】中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
- 【会议时间】2004-11
- 【会议地点】中国杭州
- 【分类号】TB774
- 【主办单位】中国真空学会