射频溅射氧化锌薄膜晶体结构和电学性质

【作者】 汲明亮； 李凤岩； 何青； 李伟； 孙云； 刘唯一； 徐传明； 薛玉明； 周志强；

【机构】 南开大学光电所；

【摘要】 ZnO薄膜是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族宽禁带化合物半导体材料,具有优异的结构、光学和电学特性,使其在太阳电池、液晶显示器、热反射镜等领域得到广泛的应用。铝掺杂的氧化锌(ZnO:Al-ZAO)透明导电膜在可见光区内具有较高的透射率和低的电阻率,尤其是其光学带隙可以由铝掺杂比例进行控制。对于获得高效率的铜铟硒太阳电池,其窗口层制备过程中,衬底温度通常保持在200℃以内。因此,研究ZAO薄膜在不同衬底温度、工作压强下其晶向结构和电学性质的变化,对于提高太阳电池的效率具有重要意义。更多还原