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单线圈感应耦合等离子体功率转换效率的研究
【机构】 苏州大学物理科学与技术学院；
【摘要】 本文分别从实验和理论计算的角度上对感应耦合放电的功率转换效率进行了研究,功率转换效率是等离子体吸收功率与通过匹配网络传输到线圈上的功率之比。平面型单线圈通过感应耦合在真空室中生成低气压、高密度Ar等离子体。随着功率从0W逐渐增加到30W时,微弱发光的等离子体突然变成了明亮的高密度等离子体,这主要是由于放电模式的改变,即从E放电模式跳跃到H放电模式。通过测量感应线圈的电压、电流及功率因子等参量,得到了不同放电功率条件下的功率转换效率。利用变压器等效电路模型从理论上计算了功率转换效率,模型中考虑了低气压等离子体随机加热机制,理论计算结果与实验结果进行了比较。
- 【会议录名称】 中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集
- 【会议名称】中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
- 【会议时间】2004-11
- 【会议地点】中国杭州
- 【分类号】O461
- 【主办单位】中国真空学会