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低介电常数薄膜沉积和性质的研究
【作者】 宁兆元； 程珊华； 叶超； 辛煜； 江美福； 黄松；
【机构】 苏州大学薄膜材料江苏省重点实验室物理学院凝聚态物理与新材料研究所；
【摘要】 材料是器件的基础,新器件呼唤新材料的产生。随着微电子器件特征线宽的降低,微电子器件材料的变革在进行中,其中很重要的是金属连线/介质的材料结构正由目前使用的Al/SiO2体系逐步向Cu/SiO2体系,进而向Cu/低k材料体系过渡。
【基金】 国家基金项目(10175048,10305008)
- 【会议录名称】 中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集
- 【会议名称】中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议
- 【会议时间】2004-11
- 【会议地点】中国杭州
- 【分类号】TN304
- 【主办单位】中国真空学会